¹öÆÛ ¸ðµâ(Buffer Module)À̳ª ÇÁ·Î¼¼¼ ¸ðµâ(Process Module)À» ±¹³» Á¦ÀÛ / ¼³Ä¡ÇÏ¿© SIO2 ȤÀº ITO Cathode + Heating SystemÀ» ºÎÂøÇÔÀ¸·Î½á ÄÚÆø·ÀÇ ±ÕÀϼº À¯Áö¿Í Ç°ÁúÇâ»óÀ¸·Î ÀåºñÀÇ È¿À²À» ±Ø´ëÈ ½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.